體積表面電阻率測試儀核心操作流程與關(guān)鍵原理

1. 設(shè)備初始化與調(diào)零

電源與預熱：

確保電源為220VAC/50Hz，接地可靠（防止漏電干擾）。

開機后預熱10分鐘，消除電路溫漂，提高穩(wěn)定性（晶振電路需熱平衡）。

調(diào)零校準：

原理：消除設(shè)備本底電流（如PCB漏電流、放大器偏置電流）。

操作：斷開所有測試線（Rx開路），電流量程置10?檔，調(diào)節(jié)調(diào)零旋鈕使顯示為“0000"。

風險：帶負載調(diào)零會導致測量誤差（例：若未調(diào)零，1nA本底電流將導致在10?Ω量程時誤差達100%）。

2. 樣品準備與電極配置

樣品要求：

尺寸：需覆蓋整個“不保護電極"（防止邊緣漏電，常規(guī)尺寸Φ50±5mm）。

厚度測量：需用千分尺精確至±0.01mm（厚度輸入錯誤10% → 電阻率誤差10%）。

三電極系統(tǒng)原理：

被保護電極（藍色）：測量主電流通路，接高阻計輸入端。

不保護電極（中間黑）：施加電壓，形成均勻電場。

保護電極（左側(cè)黑）：吸附邊緣雜散電流（保護環(huán)設(shè)計提升精度>10%）。