三電極法體積表面電阻率導電機理

三電極法電阻率測試基于材料導電機理差異，通過保護電極構建精密電場分布，實現體積電阻率（ρv=Rv×πd2/4h）與表面電阻率（ρs=Rs×2π/ln(D2/D1)）的精準分離。其創新電極系統采用鏡面拋光鍍金黃銅（H62，導電率28%IACS）與PTFE絕緣結構，配合三級屏蔽和-40℃露點控濕技術，使測量精度突破10^15Ω量級。標準化流程融合GB1410-2006與智能化技術，通過雙模式電流拓撲（體積模式基板高壓/表面模式環形高壓）、自動極化補償及滑動平均算法，有效解決傳統測量中的邊緣效應、接觸阻抗（控制精度±0.5N）和電荷積累難題。工程實踐中發展的多頻介電譜掃描、微區空間分辨（μm級）和AI異常診斷系統，不僅滿足IEC 62631-3-1:2016標準，更為納米復合材料活化能分析、柔性電子曲面測試等前沿領域提供跨尺度表征手段，推動電阻率檢測從單一參數測量向材料綜合性能評估的范式轉變。